Características de los sensores de presión de silicio difuso

Características del sensor de presión de silicio difusoUPX19

1. Es adecuado para fabricar transmisores a pequeña escala: el efecto piezorresistivo de la resistencia sensible a la fuerza del chip de silicio no tiene zona muerta en la sección de rango bajo cerca del punto cero, y el rango del sensor de presión puede ser tan pequeño como varios Kpa.

2. Alta sensibilidad de salida: el factor de sensibilidad de la resistencia a la deformación del silicio es de 50 a 100 veces mayor que el de las galgas extensométricas de metal, por lo que la sensibilidad del sensor correspondiente es muy alta y la salida del rango general es de aproximadamente 100 mv. Por lo tanto, no existen requisitos especiales para el circuito de interfaz y es más conveniente de usar.

3. Alta precisión: debido a que la sensación del sensor, la conversión sensible y la detección se realizan mediante el mismo componente, no existe un enlace de conversión intermedio y la repetibilidad y el error de histéresis son pequeños. Dado que el propio silicio monocristalino es muy rígido y la deformación es pequeña, se garantiza una buena linealidad.

4. Dado que la deformación unisexual del trabajo es tan baja como el orden de la microdeformación, el desplazamiento máximo del chip elástico es del orden de la submicra, por lo que no hay desgaste, fatiga, envejecimiento y el La vida útil es de hasta 1 × 103 ciclos de presión, con un rendimiento estable y alta confiabilidad.

5. Debido a la excelente resistencia a la corrosión química del silicio, incluso los sensores de presión de silicio difuso no aislados tienen la capacidad de adaptarse a diversos medios en gran medida.

6. Dado que el chip adopta un proceso integrado y no tiene piezas de transmisión, es de tamaño pequeño y liviano.

Para obtener más detalles, comuníquese conEstela Meng.